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日本ace適用于半導體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500 AP250和AP500是適用于半導體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器,由氣壓控制單元(相當于AP100N)和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。
日本ace自動壓力控制器AP200系列 該壓力控制器是一種通過接收安裝在次級側(cè)的壓力傳感器的信號自動將壓力調(diào)節(jié)至任意設定壓力的設備。在此設備中,閥門具有無彈簧結(jié)構(gòu),因此可以處理UHP氣體和腐蝕性氣體。與手動壓力調(diào)節(jié)器不同,不會發(fā)生由于流量變化引起的壓力波動,從而實現(xiàn)了穩(wěn)定的壓力控制。
日本ace半導體自動調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M AP160M是一種控制器,可根據(jù)半導體制造過程中使用的氣體,通過自動控制比例電磁閥的開度來自動調(diào)節(jié)管道中的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器,因此無需添加外部傳感器。
日本ace適用于空氣的壓力控制器AP150N 多功能,緊湊,價格低廉,適用于空氣等的壓力控制。 AP150N是一款控制器,適用于通過靶向惰性氣體(例如空氣和氮氣)來控制管道中的壓力和流速。
日本ace壓力控制器AP100N AP100N配備世界上z小的壓力設定單元通過一個單元 控制氣缸等的氣壓通用壓力控制器微流量類型