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sqp拉制硅單晶用石英坩堝介紹
“SQC系列"硅單晶拉制石英坩堝是采用CZ法拉制硅單晶的坩堝。采用我們的方法,使用高純度二氧化硅原材料制造。
標(biāo)準(zhǔn)品種的內(nèi)層由合成石英玻璃制成。
可制造從 18 英寸到 40 英寸的各種尺寸。
在潔凈環(huán)境中進(jìn)行最終清洗和密封包裝
用于拉制硅單晶
口徑 | 外徑 | 室壁厚度 | R形 | |||
---|---|---|---|---|---|---|
直身部分 | R部分 | 底部 | 右 | r | ||
18英寸 | 457.0±3.0 | 8.5±1.5 | 11.0±2.0 | 10.0±2.0 | 第457章 | 90 |
20英寸 | 507.0±3.0 | 9.0±2.0 | 13.0±3.0 | 10.5±2.5 | 507 | 100 |
22" | 556.0±3.0 | 10.0±2.0 | 13.0±3.0 | 10.5±2.5 | 第558章 | 110 |
24" | 607.0±3.0 | 12.0±3.0 | 15.5±3.0 | 12.0±3.0 | 610 | 120 |
28英寸 | 708.0±4.0 | 13.0±4.0 | 15.5±4.0 | 13.0±4.0 | 708 | 140 |
32英寸 | 809.0±4.0 | 14.0±5.0 | 23.0±5.0 | 15.5±5.0 | 810 | 160 |
36英寸 | 909.0±5.0 | 15.0±5.0 | 26.0±5.0 | 17.0±5.0 | 914 | 180 |